2022年国内半导体设备厂商前十排名依次是：北方华创、中微公司、盛美上海、长川科技、新益昌、华峰测控、芯源微、华海清科、拓荆科技、至纯科技。
北方华创科技集团股份有限公司是由北京七星华创电子股份有限公司(七星电子)和北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司(北方微电子)重组而成，是目前国内集成电路高端工艺装备的先进企业。北方华创主营半导体装备、真空装备、新能源锂电装备及精密元器件业务，为半导体、新能源、新材料等领域提供解决方案。公司现在存在四大产业制造基地，营销服务体系覆盖欧、美、亚等全球主要地区。
中微半导体设备(上海)股份有限公司(证券简称“中微公司”)是一家以中国为基地、面向全球的微观加工高端设备公司，为集成电路和泛半导体行业提供极具竞争力的高端设备和高品质的服务。中微开发的等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是制造各种微观器件的关键设备，可加工微米级和纳米级的各种器件。
盛美半导体设备(上海)股份有限公司成立于2005年，是半导体清理洗涤设施市场国内龙头厂商。
杭州长川科技股份有限公司成立于2008年4月，主要营业产品包括测试机、分选机、探针台、AOI设备和自动化设备。公司已于2017年4月17日，在深交所创业板挂牌上市。
深圳新益昌科技股份有限公司主要是做LED、电容器、半导体、锂电池等行业智能制造装备的研发、生产和销售，经过多年的发展和积累，公司已成为国内LED封装、电容器老化测试智能制造装备领域的领先企业，同时凭借深厚的研发实力和持续的技术创造新兴事物的能力，成功进入了半导体封装设备和锂电池设备领域。
北京华峰测控技术股份有限公司作为国内最早进入半导体测试设备行业的企业之一，在行业内深耕二十余年， 聚焦于模拟和混合信号测试设备领域。公司凭借产品的高性能、易操作和服务优势等特点，在模拟及数模混合测试设备领域打破了国外厂商的垄断地位，在营收和品牌优势方面均已达到了国内领先水平。产品不但在中国境内批量销售还外销至中国台湾、美国、欧洲、韩国、日本等境外半导体产业发达地区，截至目前，全球累计装机量突破3000台。
华海清科主要是做化学机械抛光(CMP)、研磨等设备和配套耗材的研发、生产、销售，以及晶圆再生代工服务。产品可大范围的应用于极大规模集成电路晶圆制造、封装、微机电系统制造、硅材料制造等领域。
该公司聚焦于半导体薄膜沉积设备。2021年营收7.6亿元，同比增长74%。
至纯科技主营业务包括高纯工艺集成系统、半导体湿制程设备、光传感及光器件等。
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